MDA-400LJ
操作安装方便,可处理各种尺寸的基板,采用UV-LED曝光模块,UV-LED寿命长
•手动操作
•掩模版尺寸达5英寸
•基板尺寸为4英寸圆形
•均匀性光束尺寸125mm圆
•UV光源UV LED
•光束波长365 nm
•光束均匀性<±3%
•365 nm强度 ~20 mW/㎠
•手动对准
•对准精度1 um
•操作模式软、硬、真空接触和接近
•工艺分辨率:1 um@1 um PR厚度,真空接触
•尺寸(mm)800(宽)*800(深)*800(高)
MDA-600LJ
操作安装方便,可处理各种尺寸的基板,采用UV-LED曝光模块,UV-LED寿命长
•手动操作
•掩模版尺寸高达7英寸
•基板尺寸为6英寸圆形
•均匀光束尺寸170 mm圆
•UV光源:UV LED
•光束波长365 nm
•光束均匀性<±5%
•365 nm强度 ~20 mW/㎠
•手动对准
•对准精度1 um
•操作模式:软、硬、真空接触和接近
•工艺分辨率 1 um@1 um PR厚度,真空接触
•重量(kg)150
•尺寸(mm)800(宽)*800(深)*800(高)
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